Máy khắc laser

Sáng chế phù hợp với việc khắc laser và cung cấp máy khắc laser. Máy khắc laser bao gồm một tia laser, một chùm mở rộng, một cụm điện kế quét và một thấu kính hội tụ trường phẳng. Ánh sáng laser phát ra từ tia laser được mở rộng bởi bộ mở rộng chùm tia, sau đó đi vào cụm điện kế quét, đi qua thấu kính hội tụ trường phẳng, và sau đó được chiếu lên bề mặt của phôi. Cụm thấu kính thu phóng được bố trí trên đường truyền sáng của đèn laze. Cụm thấu kính thu phóng được bố trí giữa tia laser và bộ mở rộng chùm tia hoặc giữa bộ mở rộng chùm tia và cụm điện kế quét.